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产物手艺
MEMS
iTomic? Lite系列轻型原子层沉积系统
iTomic? Lite轻型系列原子层沉积系统接纳原创设计开发的自动化平台与？榛疉LD反映腔相团结，以国产化零部件为主导，可以an需设置PEALD或Thermal ALD等工艺需求。Lite ALD系列装备具有强盛的兼容性，其硬件设置在保持量产机型强盛功效的条件下，可知足种种晶圆尺寸（6、8英寸）量产工艺需求，同时也可知足客户高端研发和新工艺试量产需求。Lite ALD系列可普遍应用于MEMS、光电器件等泛半导体器件领域。
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产物特点
无邪兼容Thermal ALD和PEALD工艺应用
1
自由设置半自动或全自动系统
2
薄膜质料：Al?O?、SiO?、TiO?、ZnO、氮化物等
3
知足6、8英寸晶圆量产工艺需求
4
知足高端研发客户需求及新工艺的开发和量产
5
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