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产物手艺
硅基微显示
iTronix?系列化学气相沉积系统
iTronix?系列化学气相沉积（CVD）系统接纳自主研发的反映腔室和电气软件集成化服务，在逻辑、存储、先进封装、显示器件等芯片制造领域具有普遍应用，可知足多种功效衴uan∧こ粱ひ盏目⒑陀τ眯枨。搭载新型平台可安装更多反映腔以知足高产能需求。
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产物特点
高精度压力调治控制手艺，提高薄膜蹊径笼罩率
1
可以控制膜的成份和结构，知足多元掺杂工艺需求
2
自主研发高精度制程边缘控制手艺，镌汰晶圆去边，提高晶圆使用率
3
带ESC多区加热陶瓷盘，可以实现高温工艺，镌汰反面沉积，阻止等离子体损伤
4
自主设计的多区域吹扫功效，镌汰颗粒污染，延伸洗濯周期
5
多区域温度控制设计，温度控制精度高，薄膜匀称性好
6
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