亚美AM8AG

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产物手艺
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Trancendor?晶圆真空传输系统
Trancendor?平台系列是亚美AM8AG纳米自力研发的、适用于高产能半导体制程装备的晶圆传输系统。gai系统可凭证客户工艺需要，无邪挂载一至多个工艺腔体（每个工艺腔体可配备一至多个事情站）在真空情形下举行快速高效晶圆传输。
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产物特点
?针对种种机械运动发生的颗粒、金属污染等严苛需求，举行特殊设计，可有用阻止晶圆外貌微尘和金属污染
1
提升平台的产能输出的设计
2
提升系统服务性的特殊设计
3
具备晶圆传输位置的自动校准功效，确保传送准确度和工艺匀称性等要求
4
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